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低流量，雙向常閉（NC）比例閥，帶有集成的熱補償功能，可在各種介質(zhì)上保持和可重復(fù)的流量。VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣，VSOLowFlow微型比例閥可根據(jù)輸入電流提供的氣體流量控制。可以通過DC電流或脈沖寬度調(diào)制以及閉環(huán)來控制閥門。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質(zhì)譜設(shè)備制造商。
•實現(xiàn)的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高儀器精度•進行熱補償以保持各種介質(zhì)的流動用于性能可追溯性的計算機自動校準和序列化•清潔氧氣和分析服務(wù)使用經(jīng)過驗證的性能測試到1000萬個生命周期•符合RoHS標準
PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應(yīng)用行業(yè)如下：•氣相色譜•質(zhì)譜•壓力和流量控制•質(zhì)量流量控制
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